多晶硅過濾器

產(chǎn)品概述

　　在多晶硅生產(chǎn)過程中，還原爐尾氣過濾器如何選型始終是一個(gè)難點(diǎn)，如過濾器及過濾面積選擇不當(dāng)，將會(huì)導(dǎo)致過濾器堵死或硅粉過濾不徹底，影響下游工藝設(shè)備，從而嚴(yán)重影響系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行。由于多晶硅行業(yè)尾氣粉塵具有顆粒細(xì)小、溫度高、硬度高、有耐磨性等特點(diǎn)，目前使用效果較好的是本體采用316L材料、濾芯采用316L金屬燒結(jié)氈制成的過濾器。此過濾器可設(shè)置成手動(dòng)反吹或自動(dòng)反吹。

應(yīng)用領(lǐng)域

　　♦ 硅粉輸送工序尾氣過濾。

　　♦ 三氯氫硅合成工序合成氣過濾。

　　♦ 三氯氫硅還原工序尾氣過濾。

　　♦ 四氯化硅氫化工序尾氣過濾。

　　♦ 焚燒尾氣過濾。

　　♦ 其它。

產(chǎn)品列表

1、氣體精密過濾器	2、天燃?xì)饩苓^濾器
3、液體精密過濾器	4、袋式過濾器
5、多晶硅過濾器	6、保安過濾器
7、精密過濾器濾芯

硅粉輸送工序尾氣過濾系統(tǒng)

過濾器：硅粉過濾器、硅塵過濾器等
工藝介質(zhì)：硅粉輸送（加料）系統(tǒng)產(chǎn)生的含塵廢氣

工藝參數(shù)	氣相：氫氣、氮?dú)饣蚱渌?9.9%；固相：冶金硅粉0.1%（重量）顆粒粒度：40~100目
設(shè)計(jì)性能	過濾效果：固體去除率99.9% 清灰設(shè)計(jì)：在線分區(qū)脈沖反吹（低壓系統(tǒng)）離線分區(qū)脈沖反吹（高壓系統(tǒng)）

三氯氫硅合成工序合成氣過濾系統(tǒng)

過濾器：合成反應(yīng)器出口旋風(fēng)分離器和硅粉過濾器
工藝介質(zhì)：三氯氫硅合成反應(yīng)器出口混合氣體

工藝參數(shù)	氣相：（wt%）H2（1.6%），HCl（3.3%），SiH2Cl2（3.5%） SiCl4（13.6%），SiHCl3（77.8%）固相：Si 粉（0.3%,max:1%）工作溫度：～200℃；工作壓力：0.6Mpa 過濾精度：10µm
設(shè)計(jì)性能	過濾效果：固體去除率99.9% 濾芯：316L，10µm 清灰設(shè)計(jì)：有備用，離線反吹或在線分區(qū)反吹；反吹氣：氫氣

三氯氫硅還原工序尾氣過濾系統(tǒng)

過濾器：還原爐尾氣過濾器
工藝介質(zhì)：三氯氫硅還原工序尾氣

工藝參數(shù)	氣相：(mol%）H2（78.96%），HCl（0.64%）， SiH2Cl2（1.82%）,SiCl4（7.16%），SiHCl3（11.4%）固相：無定型 Si 粉工作溫度：～200 ℃；工作壓力：～0.6Mpa 過濾精度：1µm
設(shè)計(jì)性能	過濾效果：固體去除率99.9% 濾芯：316L，1µm 清灰設(shè)計(jì)：有備用，離線反吹或在線分區(qū)反吹；反吹氣：氫氣

產(chǎn)品結(jié)構(gòu)圖

產(chǎn)品性能參數(shù)

殼體材質(zhì)	20#、低溫鋼、不銹鋼、雙相鋼、鈦合金、內(nèi)襯PO、內(nèi)襯四氟、2205等各種特殊材質(zhì)
過濾器壓力	0.6Mpa、1.0Mpa、1.6Mpa、2.0Mpa、3.2Mpa、4.0Mpa、6.4Mpa，最高至25.0Mpa
溫度范圍	-280℃~+2000℃
接管口徑	DN15~DN1500mm
連接方式	法蘭連接、快裝連接、螺紋連接、對焊連接
濾芯材質(zhì)	不銹鋼、聚丙烯、PP棉、聚四氟乙燃、鈦合金、陶瓷等各種濾芯
過濾精度	0.001um~500um
濾芯長度	250mm、500mm、750mm、1000mm或客戶指定長度
進(jìn)出口方位	上進(jìn)下出、上進(jìn)側(cè)出、左進(jìn)右出、下進(jìn)上出等各種型式
過濾器可選配件	壓差計(jì)、變送器、安全閥、電動(dòng)（氣動(dòng)）排污閥、放空閥、液位計(jì)
墊片	聚四氟乙烯墊片、橡膠墊片、金屬內(nèi)外環(huán)墊片、金屬石墨墊片或客戶指定
過濾器外面處理	采用內(nèi)外拋光處理，達(dá)到衛(wèi)生級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，也可噴砂處理。
	上海慶工建議客戶最好來電咨詢，我們的工程師會(huì)免費(fèi)根據(jù)貴公司的工況及參數(shù)選擇最合理的過濾器